光学精密工程2019年09期论文

本文主要研究内容作者娄志峰,郝秀朋,刘力,王晓东（2019）在《圆光栅配合自准直仪测量主轴径向运动误差》一文中研究指出：提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆光栅、读数头、环形平面镜以及激光自准直仪组成。首先,将圆光...