MEMS

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  • 真空规论文-王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君

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  • 复合式无线传感器论文-张扬,杨松涛,周鹏,张香芝

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  • 变面积电容式论文-朱涛

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  • 磁阻式传感器论文-刘峰,金磊,牛少华,刘海鹏,郭建昌

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