薄膜沉积论文

本文主要研究内容作者徐晖（2019）在《等离子体射流薄膜沉积对微放电抑制的研究》一文中研究指出：高压直流GIL/GIS设备生产、组装及运行过程中产生的金属微粒在较高的电场应力作...