薄膜离子源论文

本文主要研究内容作者王亚军,徐翱,席仕伟,杨林,金大志,陈磊（2019）在《基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究》一文中研究指出：基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型...