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朱章根:6-UCU型Stewart平台的振动研究论文
本文主要研究内容作者朱章根(2019)在《6-UCU型Stewart平台的振动研究》一文中研究指出:并联机构(ParallelMechanism,PM)是具有两个或者两个以上的...
葛黎黎:光刻机测量支架减振效果研究论文
本文主要研究内容作者葛黎黎,刘赟,周畅(2019)在《光刻机测量支架减振效果研究》一文中研究指出:本文根据最佳减振效果的理论模型,提出包括被动减振、主动减振等光刻机测量支架减振...