背溅射沉积污染论文

本文主要研究内容作者商圣飞,向树红,姜利祥,蔡国飙,顾左（2019）在《防溅射靶对离子推力器背溅射沉积污染的影响》一文中研究指出：针对目前对真空舱背溅射沉积污染的计算模型误差较...