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秦丽:大量程MEMS加速度计在高温环境下的多元相依可靠性评估(英文)论文
本文主要研究内容作者秦丽,何程,于丽霞,王威,秦立君(2019)在《大量程MEMS加速度计在高温环境下的多元相依可靠性评估(英文)》一文中研究指出:以往在进行微电子机械系统(m...