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岳天峰:基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究论文
本文主要研究内容作者岳天峰,刘嘉琪,文峰,马艳平,丁春华,姜宏(2019)在《基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究》一文中研究指出:采用射频磁控溅射...