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本文主要研究内容作者范丽琴(2019)在《基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计》一文中研究指出:采用磁控溅射法制备AZO薄膜,研究和讨论了溅射功率、溅射时间和溅射...