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罗清威:液相法在Si基底上沉积非晶碳膜论文
本文主要研究内容作者罗清威,焦菲,邹祥宇,王玉梅(2019)在《液相法在Si基底上沉积非晶碳膜》一文中研究指出:液相法以成本低、制备工艺简单等特点成为制备非晶碳膜的热点。然而适...