磁片论文

磁控溅射靶磁场的模拟优化设计
中国南玻集团股份有限公司摘要：本文基于磁控溅射的磁场分布水平和磁场强度在镀膜性能与质量上影响与价值分析，结合磁控靶材的结构及其磁场的计算方法和步骤的探讨，以及利用ANSYS软件...