微纳电子技术2019年08期论文

本文主要研究内容作者赵红东,韩铁成（2019）在《纳米Si薄膜生长及其Monte-Carlo模拟》一文中研究指出：在玻璃衬底到靶的不同水平距离W(0.5、0.8和1.3cm)条...