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龚凯:新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究论文
本文主要研究内容作者龚凯,周海,黄传锦,韦嘉辉,王晨宇(2019)在《新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究》一文中研究指出:为抑制氧化镓晶片在研磨过程中的解理现象,通过NAKA...