单极性脉冲磁控溅射论文

本文主要研究内容作者但敏,罗蓉蓉,周毅,李建,金凡亚（2019）在《脉冲磁控溅射MoS2涂层的组织结构及摩擦学性能》一文中研究指出：采用单极性脉冲磁控溅射技术在A286基体表面制备MoS2低摩擦系数涂层（LFC）。利用XRD、SEM等手段表征涂层的成分与微观组织;采用原位纳米力学测试系统、球-盘式摩...