等离子体诊断论文

本文主要研究内容作者常富强,施芸城（2019）在《低气压CF4等离子体发射光谱分析》一文中研究指出：通过观察容性耦合等离子体放电中CF4等离子体光谱来对电子温度和电子密度进行诊...