等离子增强原子层沉积论文

本文主要研究内容作者乌李瑛,柏荣旭,瞿敏妮,田苗,沈赟靓,王英,程秀兰（2019）在《热ALD和等离子增强ALD沉积HfO2薄膜的比较（英文）》一文中研究指出：以四（甲乙胺）铪...