多元复合膜论文

本文主要研究内容作者黄杰,史学伟,廖斌,吴先映（2019）在《新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控》一文中研究指出：针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足...