非平衡闭合磁控溅射论文

本文主要研究内容作者宇文江涛,王佐平,张亚娟,王育召,丁超,龙晓云,符昊（2019）在《基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响》一文中研究指出：试样基片经常规渗碳、淬火及不同的表...