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崔寓淏:基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究论文
本文主要研究内容作者崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜(2019)在《基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究》一文中研究指出:采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动...