富硅碳化硅基薄膜论文

本文主要研究内容作者张志恒,赵飞,杨雯,莫镜辉,葛文,李学铭,杨培志（2019）在《脉冲功率对含硅量子点SiC_x薄膜物相结构及光谱特性的影响》一文中研究指出：基于硅量子点(S...