感应耦合等离子体论文

本文主要研究内容作者马旺,李益文,赵伟灼,魏小龙,罗思海（2019）在《轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究》一文中研究指出：为探究轴向磁场对纯Ar感应耦合等离子体放电模式...