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张敏:磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜论文
本文主要研究内容作者张敏,杜鹃(2019)在《磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜》一文中研究指出:通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确...