高功率调制脉冲磁控溅射

溅射参数论文-李玉阁,袁海,蒋智韬,雷明凯
导读:本文包含了溅射参数论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:NbN涂层,高功率调制脉冲磁控溅射,相组成,硬度溅射参数论文文献综述李玉阁,袁海,蒋智韬,雷明凯[1...