工作气压论文

本文主要研究内容作者杨仲秋（2019）在《工作气压对磁控溅射薄膜的影响》一文中研究指出：结合近几年的相关研究报道,归纳总结磁控溅射法制备薄膜过程中,工作气体压力变化对膜层沉积速...