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张猛:氧氩比对ZnO薄膜微观结构及光电特性的影响论文
本文主要研究内容作者张猛,付宏远,孙艳艳,赵洋,王辉(2019)在《氧氩比对ZnO薄膜微观结构及光电特性的影响》一文中研究指出:采用JGP300型超高真空磁控溅射系统,在蓝宝石...