硅微谐振加速度计论文

本文主要研究内容作者于亚云（2019）在《硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨》一文中研究指出：从当前的国际科技发展形势来看,硅微谐振加速度计是一种十分具有潜力的高精度...