氦质谱检漏仪论文

本文主要研究内容作者王春明,张明达,苏玉萍（2019）在《真空应用设备检漏方法的探讨》一文中研究指出：本文首先浅述了氦质谱检漏技术的原理和喷吹检漏法,并以真空应用设备中的真空炉...