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敬瑀:化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验论文
本文主要研究内容作者敬瑀,龚伟,朱黎明,王恩泽(2019)在《化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验》一文中研究指出:设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两...