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后退火论文
后退火论文
李如永:后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响论文
本文主要研究内容作者李如永,段苹,崔敏,王吉有,原安娟,邓金祥(2019)在《后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响》一文中研究指出:本文采用双靶材交替溅射...