溅射镀膜铌靶材论文

本文主要研究内容作者李兆博,马小文,黄浩,杜领会,汪凯,李兴钰（2019）在《溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析》一文中研究指出：从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面...