溅射离子泵论文

本文主要研究内容作者崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜（2019）在《基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究》一文中研究指出：采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动...