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许佳佳:InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究论文
本文主要研究内容作者许佳佳,黄敏,徐庆庆,徐志成,王芳芳,白治中,周易,陈建新,何力(2019)在《InAs/GaSbⅡ类超晶格台面的ICP刻蚀研究》一文中研究指出:报道了采用...