加速度开关论文

本文主要研究内容作者丁丽梅,李世中,段荣杰,杨乐（2019）在《MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验》一文中研究指出：针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用"扭梁-悬臂梁-质量块"结构作为MEMS加速...