洁净厂房论文

本文主要研究内容作者杨秘林（2019）在《洁净厂房内送回风系统对火灾自动报警的影响分析》一文中研究指出：洁净厂房多为封闭式空间,为达到洁净度,设置了多种空调送回风方式,这决定了...

本文主要研究内容作者万明辉（2019）在《某超硅半导体洁净厂房微震控制技术》一文中研究指出：科技电子材料的制程精密度高,超硅半导体项目具有极高的纯度要求任何轻微的震动导致的杂质...