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谭学强:磁控溅射纳米Cu膜织物导电性能研究论文
本文主要研究内容作者谭学强(2019)在《磁控溅射纳米Cu膜织物导电性能研究》一文中研究指出:磁控溅射法具有薄膜厚度可控、纯度高、低温高速、附着力好、操作控制方便、装置性能稳定...