界面钝化论文

本文主要研究内容作者朱轩民,张静,马雪丽,李晓婷,闫江,李永亮,王文武（2019）在《NH3等离子体钝化对Al2O3/SiGe界面的影响》一文中研究指出：研究了不同条件的非原位...