激光分子束外延论文

本文主要研究内容作者翁瑶（2019）在《Si(110)衬底上AlN薄膜的激光分子束外延法制备及其光电性能研究》一文中研究指出：AlN薄膜以其优异的性能在光电子和微电子领域具有广...