精密定位平台论文

本文主要研究内容作者林盛隆,张宪民,朱本亮（2019）在《高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》一文中研究指出：针对目前用于原子力显微镜的扫描定位平台带宽低、行程小、耦合性能差等问题,提出了一种基于柔性梁的高带宽两自由度精密定位平台并对该平台进行了优化设计、仿真验证与实验分析。首先,提...