晶圆电镀论文

本文主要研究内容作者陈苏伟（2019）在《各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性研究》一文中研究指出：根据晶圆电镀原理,建立简化的晶圆双面电镀槽模型,分析了改变阴阳极间距对电流密...