金属有机化学气相沉积论文

本文主要研究内容作者李琳,李成明,杨功寿,胡西多,杨少延,苏宁（2019）在《三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟》一文中研究指出：本文对三层热壁水平流金属有机化学气相沉...