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中国科学技术大学2019-07-12论文
马磊:我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究论文
本文主要研究内容作者马磊(2019)在《我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究》一文中研究指出:当前半导体行业的关键设备及关键部件基本由欧美日垄断,加上技术封锁造成的代差,未来很长一段时间我国半导体设备制造在软硬件上都无法实现质的跨越。通过综述国内外半导体清洗装备行业发展现状,以半导体清洗机的关...