基体偏压论文

本文主要研究内容作者王建伟,薛玉君,蔡海潮,杜三明（2019）在《基体偏压对磁控溅射制备CrAlN薄膜摩擦学性能的影响》一文中研究指出：通过分析不同基体偏压下磁控溅射(PVD)...