扩散层论文

本文主要研究内容作者王孟磊,任世强,姜大川,谭毅,李鹏廷（2019）在《温度梯度对多晶硅感应熔炼除杂效果的影响》一文中研究指出：以低硼工业硅为原料,基于真空感应熔炼技术,通过调...