离子注入技术论文

本文主要研究内容作者原苗苗,杨娅,英敏菊（2019）在《Sb掺杂ZnO单晶薄膜的结构和光学性能研究》一文中研究指出：采用射频等离子体辅助分子束外延法制备高品质ZnO单晶薄膜,利...