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杜佳晨:基于数据挖掘的单晶硅等径生长过程“掉苞”预测方法研究论文
本文主要研究内容作者杜佳晨(2019)在《基于数据挖掘的单晶硅等径生长过程“掉苞”预测方法研究》一文中研究指出:直拉法单晶硅生长的工艺过程非’常复杂,在单晶炉上需要安装各种传感...