脉冲直流反应磁控溅射

导读:本文包含了脉冲反应溅射论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:氧化钒薄膜,光谱椭偏,脉冲直流反应磁控溅射,占空比脉冲反应溅射论文文献综述董翔,吴志明,许向东,...