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杜立群:基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究论文
本文主要研究内容作者杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超(2019)在《基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究》一文中研究指出:微电铸已成为制作金属微器件的关...