抛光机论文

自动抛光机的调试与改进
深圳深爱半导体股份有限公司518000摘要：在各种研磨工艺参数相同的情况下，抛光机在改造前后的去除率差别不大，但改造后抛光机对工件加工的表面粗糙度明显优于改造前的。研究结果表明...