偏转量

光热微驱动机构论文-尤清扬,王英达,秦春,章海军
导读:本文包含了光热微驱动机构论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光热膨胀,光热微驱动机构(OTMA),动态响应特性,偏转量光热微驱动机构论文文献综述尤清扬,王...