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王林青:氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响(英文)论文
本文主要研究内容作者王林青,周永涛,王军军,刘雪芹(2019)在《氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响(英文)》一文中研究指出:在低温(100℃...